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  • 名稱: 掃描電鏡測試(SEM+EDS)
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掃描電鏡測試(SEM+EDS) 

簡介

    掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。

    掃描電鏡的優點是,①有較高的放大倍數,20-20萬倍之間連續可調;②有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構;③試樣制備簡單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析,因此它是當今十分有用的科學研究儀器。

工作原理

掃描電子顯微鏡的制造依據是電子與物質的相互作用。

掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描,激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。

當一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時,被激發的區域將產生二次電子俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時可產生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩等離子體)。

測試步驟

    將樣品進行表面鍍鉑金后,放入掃描電子顯微鏡樣品室中,使用15 kV的加速電壓對測試位置進行放大觀察,并用X射線能譜分析儀對樣品進行元素定性半定量分析。

樣品要求

      非磁性或弱磁性,不易潮解且無揮發性的固態樣品,小于8CM*8CM*2CM。

推薦標準

      GB/T 17359-2012微束分析 能譜法定量分析

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